Tha teicneòlas tasgadh smùid corporra (Physical Vapor Deposition, PVD) a’ toirt iomradh air cleachdadh dhòighean corporra fo chumhachan falamh gus uachdar stòr stuthan (cruaidh no leaghaidh) a ghalachadh gu bhith nan dadaman no nam moileciuilean gasach, no a bhith air an ianachadh gu ìre gu bhith nan ianan, agus a dhol tro ghas (no plasma) le cuideam ìosal. Pròiseas, teicneòlas airson film tana a thasgadh le gnìomh sònraichte air uachdar fo-strat, agus tha tasgadh smùid corporra mar aon de na prìomh theicneòlasan làimhseachaidh uachdar. Tha teicneòlas còmhdach PVD (tasgadh smùid corporra) air a roinn sa mhòr-chuid ann an trì roinnean: còmhdach falamh falamh, còmhdach sputtering falamh agus còmhdach ian falamh.
Tha na toraidhean againn air an cleachdadh sa mhòr-chuid ann an falmhachadh teirmeach agus còmhdach sputtering. Am measg nan toraidhean a thathas a’ cleachdadh ann an tasgadh smùide tha uèir snàthainn tungsten, bàtaichean tungsten, bàtaichean molybdenum, agus bàtaichean tantalum. Is e na toraidhean a thathas a’ cleachdadh ann an còmhdach beam electron uèir tungsten catod, crucible copair, crucible tungsten, agus pàirtean giullachd molybdenum. Am measg nan toraidhean a thathas a’ cleachdadh ann an còmhdach sputtering tha targaidean titanium, targaidean cròmium, agus targaidean titanium-alùmanum.
