Is e seòrsa de chòmhdach falmhachaidh falamh a th’ anns an dòigh gluasaid giùlan dealanach, a bhios a’ cleachdadh sailean dealanach gus an stuth falmhachaidh a theasachadh gu dìreach fo chumhachan falamh, an stuth falmhachaidh a bhalbhachadh agus a ghiùlan chun t-substrate, agus dùmhlachd air an t-substrate gus film tana a chruthachadh. Anns an inneal teasachaidh giùlan dealanach, tha an stuth teasachaidh air a chuir ann am breagag air a fhuarachadh le uisge, a dh ’fhaodas an ath-bhualadh eadar an stuth falmhachaidh agus am balla breusaidh a sheachnadh agus buaidh a thoirt air càileachd an fhilm. Faodar grunn bhreusgain a chuir san inneal gus falmhachadh aig an aon àm no air leth agus tasgadh diofar stuthan. Le falmhachadh giùlan dealanach, faodar stuth sam bith a ghluasad.
Faodaidh falmhachadh giùlan dealanach stuthan puing leaghaidh àrd a ghluasad. An coimeas ri falmhachadh teasachaidh an aghaidh coitcheann, tha èifeachdas teirmeach nas àirde aige, dùmhlachd sruth beam nas àirde, agus astar gluasaid nas luaithe. Film agus film de dhiofar stuthan optigeach leithid glainne giùlain.
Is e an rud a th’ ann an falmhachadh giùlan dealanach nach bi no nach ann ainneamh a bhios e a’ còmhdach dà thaobh structar trì-thaobhach an targaid, agus mar as trice dìreach tasgaidhean air an uachdar targaid. Is e seo an diofar eadar falmhachadh beam dealanach agus sputtering.
Bithear a’ cleachdadh falmhachadh beam dealanach gu cumanta ann an raon rannsachadh agus gnìomhachas semiconductor. Thathas a’ cleachdadh an lùth dealanach luathaichte gus an targaid stuth a bhualadh, ag adhbhrachadh gum bi an targaid stuth a ’falmhachadh agus ag èirigh. Mu dheireadh air a thasgadh air an targaid.
Ùine puist: Dùbhlachd-02-2022